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产品名称:VCCQ型系列气动超高真空插板阀 产品介绍: VCCQ型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,推动气缸活塞,通过传动杆推(拉)动连杆机构,驱动阀板沿轴向运动,实现阀板开启或关闭,从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。在结构设计上合理,在外观上美观,并具有动作平稳,体积小,流道大,使用可靠,密封性能好和寿命长等优点,能广泛应用于超高真空设备中。 适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
主要技术性能
适用范围(Pa)
105~1.3x10-7
阀门漏率(Pa.L/S)
DN≤200为≤1.3x10-7 DN≥250为≤6.7x10-7
阀门烘烤温度(℃)
≤150(除传动装置外)
开阀时阀板两侧压力差(Pa)
≤2.7x103
气源压力(MPa)
0.4~0.7
电源电压
标准出厂:AC220V/50Hz
特殊指定:AC110V;DC24V;DC12V等
信号反馈
标准出厂:不带反馈信号
特殊指定:微动开关DC/AC5~240V
安装位置
任意
连接及外形尺寸
型号
通径(DN)
尺寸
A
B
C
D
E
L
VCCQ-50/KF
50
98
64
88
41
153
337
VCCQ-63
63
150
124
54
170
394
VCCQ-80
80
166
77
140
61
210
450
VCCQ-100
100
186
160
72
230
490
VCCQ-150
234
207
96
307
626
VCCQ-200
200
280
254
121
382
750
VCCQ-250
250
342
117
312
148
462
812
VCCQ-320
320
445
425
212.5
667.5
1284
VCCQ-400
400
536
512
256
810
1595
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